Is a substrate miscut really required for high quality III-V/Si monolithic integration? - Archive ouverte HAL
Conference Papers Year : 2021

Is a substrate miscut really required for high quality III-V/Si monolithic integration?

Charles Cornet
Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON
CV
Simon Charbonnier
Institut de Physique de Rennes
Ida Lucci
  • Function : Author
Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON
Lipin Chen
Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON
Antoine Létoublon
Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON
CV
Karine Tavernier
Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON
CV
Tony Rohel
  • Function : Author
Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON
Rozenn Bernard
Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON
Jean-Baptiste Rodriguez
Institut d’Electronique et des Systèmes
Composants à Nanostructure pour le moyen infrarouge
Matériaux
CV
Laurent Cerutti
Institut d’Electronique et des Systèmes
Composants à Nanostructure pour le moyen infrarouge
Eric Tournié
Institut d’Electronique et des Systèmes
Composants à Nanostructure pour le moyen infrarouge
CV
Yoan Léger
Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON
CV
Mounib Bahri
  • Function : Author
Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
Gilles Patriarche
Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
Ludovic Largeau
Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
CV
Anne Ponchet
Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales
Surfaces, Interfaces et Nano-Objets
CV
Pascal Turban
  • Function : Author
  • PersonId : 896
  • IdHAL : pturban
Institut de Physique de Rennes
Nicolas Bertru
Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON

Domains

Materials Micro and nanotechnologies/Microelectronics

Charles Cornet  : Connect in order to contact the contributor

https://hal.science/hal-03402689

Submitted on : Monday, October 25, 2021-5:33:33 PM

Last modification on : Thursday, November 7, 2024-4:14:04 PM

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Dates and versions

hal-03402689 , version 1 (25-10-2021)

Identifiers

  • HAL Id : hal-03402689 , version 1

Cite

Charles Cornet, Simon Charbonnier, Ida Lucci, Lipin Chen, Antoine Létoublon, et al.. Is a substrate miscut really required for high quality III-V/Si monolithic integration?. 21st International Conference on Molecular Beam Epitaxy (ICMBE 2021), Sep 2021, Mexico (virtual), Mexico. ⟨hal-03402689⟩

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