Charge gas and discharge parameters influence on kinetic and nucleation in RF Ar/C2H2 plasmas - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2021

Charge gas and discharge parameters influence on kinetic and nucleation in RF Ar/C2H2 plasmas

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Pascal Brault  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-03344016

Soumis le : mardi 14 septembre 2021-14:50:28

Dernière modification le : jeudi 28 novembre 2024-10:50:08

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03344016 , version 1 (14-09-2021)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03344016 , version 1

Citer

Gautier Tetard, Armelle Michau, Swaminathan Prasanna, Jonathan Mougenot, Pascal Brault, et al.. Charge gas and discharge parameters influence on kinetic and nucleation in RF Ar/C2H2 plasmas. PLATHINIUM 2021, Sep 2021, Online, France. ⟨hal-03344016⟩

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