Critical angles in DC magnetron glad thin films

Ahcene Siad; Aurélien Besnard; Corinne Nouveau; Philippe Jacquet

doi:10.1016/j.vacuum.2016.07.012

Article Dans Une Revue Vacuum Année : 2016

Critical angles in DC magnetron glad thin films

, , , (1, 2)

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Ahcene Siad

Fonction : Auteur

Aurélien Besnard

Fonction : Auteur
PersonId : 1027235
IdHAL : aurelien-besnard
IdRef : 151664366

CV

Corinne Nouveau

Fonction : Auteur
PersonId : 1027234
ORCID : 0000-0002-5552-2020
IdRef : 152252169

Philippe Jacquet

Fonction : Auteur
PersonId : 1103417

LabECAM

Laboratoire Bourguignon des Matériaux et Procédés

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

Philippe JACQUET : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-03272111

Soumis le : lundi 28 juin 2021-10:30:08

Dernière modification le : lundi 8 juillet 2024-12:34:00

Dates et versions

hal-03272111 , version 1 (28-06-2021)

Identifiants

HAL Id : hal-03272111 , version 1
DOI : 10.1016/j.vacuum.2016.07.012

Citer

Ahcene Siad, Aurélien Besnard, Corinne Nouveau, Philippe Jacquet. Critical angles in DC magnetron glad thin films. Vacuum, 2016, 131, pp.305-311. ⟨10.1016/j.vacuum.2016.07.012⟩. ⟨hal-03272111⟩

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