Guide d’onde electro-optique à haut facteur de forme sur LiNbO3 réalisée par scie circulaire de précision et atomic layer deposition
Alexis Caspar
(1)
,
Wentao Qiu
(1)
,
Venancio Calero Vila
(1)
,
Abdoulaye Ndao
(1)
,
Gwenn Ulliac
(1)
,
Miguel Angel Suarez
(1)
,
Maria-Pilar Bernal-Artajona
(1)
,
Nadège Courjal
(1)
,
Matthieu Roussey
(2)
,
M Häyrinen
(2)
,
L Laukkanen
(2)
,
S Honkanen
(2)
,
M Kuittinen
(2)