Article Dans Une Revue
Plasma Sources Science and Technology
Année : 2021
Anne Bourdon : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03200271
Soumis le : vendredi 16 avril 2021-13:15:09
Dernière modification le : vendredi 19 avril 2024-16:19:00
Citer
Pascal Chabert, Tsanko Vaskov Tsankov, Uwe Czarnetzki. Foundations of capacitive and inductive radio-frequency discharges. Plasma Sources Science and Technology, 2021, 30 (2), pp.024001. ⟨10.1088/1361-6595/abc814⟩. ⟨hal-03200271⟩
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