Foundations of capacitive and inductive radio-frequency discharges - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Plasma Sources Science and Technology Année : 2021

Foundations of capacitive and inductive radio-frequency discharges

Pascal Chabert
Tsanko Vaskov Tsankov
  • Fonction : Auteur
Uwe Czarnetzki
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03200271 , version 1 (16-04-2021)

Identifiants

Citer

Pascal Chabert, Tsanko Vaskov Tsankov, Uwe Czarnetzki. Foundations of capacitive and inductive radio-frequency discharges. Plasma Sources Science and Technology, 2021, 30 (2), pp.024001. ⟨10.1088/1361-6595/abc814⟩. ⟨hal-03200271⟩
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