28 nm UTBB FD-SOI technology for Silicon-based quantum dots and Cryo-CMOS electronics
I. Kriekouki
(1)
,
Sophie Rochette
(2)
,
Claude Rohrbacher
(2)
,
J. Camirand Lemyre
(2)
,
Michel Pioro-Ladriere
(3)
,
Dominique Drouin
(3, 4)
,
Manuel J. Barragan
(1)
,
Salvador Mir
(1)
,
Philippe Galy
(5)
1
TIMA -
Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés
2 UdeS - Université de Sherbrooke
3 LN2 - Laboratoire Nanotechnologies Nanosystèmes
4 3IT - Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke]
5 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
2 UdeS - Université de Sherbrooke
3 LN2 - Laboratoire Nanotechnologies Nanosystèmes
4 3IT - Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke]
5 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
Dominique Drouin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 182695
- IdHAL : dominique-drouin
- ORCID : 0000-0003-2156-967X
Manuel J. Barragan
- Fonction : Auteur
- PersonId : 22091
- IdHAL : manuel-barragan
- ORCID : 0000-0003-0187-604X
- IdRef : 198272065
Salvador Mir
- Fonction : Auteur
- PersonId : 174000
- IdHAL : salvador-mir
- ORCID : 0000-0001-9911-8946
- IdRef : 068749287