MEMS calorimetric shear-stress sensor based on flexible substrate - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2019
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03134929 , version 1 (08-02-2021)

Identifiants

Citer

Leo Chamard, Alain Giani, Philippe Combette, Julien Weiss. MEMS calorimetric shear-stress sensor based on flexible substrate. 2019 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP), May 2019, Paris, France. pp.1-4, ⟨10.1109/DTIP.2019.8752856⟩. ⟨hal-03134929⟩
35 Consultations
0 Téléchargements

Altmetric

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More