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Article Dans Une Revue Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics Année : 2019

Evaluation of the chemical and optical perturbations induced by Ar plasma on InP surface

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hal-03116617 , version 1 (20-01-2021)

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Solène Béchu, Céline Eypert, Anais Loubat, Jackie Vigneron, Sofia Gaiaschi, et al.. Evaluation of the chemical and optical perturbations induced by Ar plasma on InP surface. Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics, 2019, 37 (6), pp.062902. ⟨10.1116/1.5121897⟩. ⟨hal-03116617⟩
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