Matrice d'interféromètres de Mirau micro-fabriqués comme composant d'un dispositif OCT plein-champ multicanaux
Résumé
Nous présentons un système d’imagerie miniature basé sur une matrice d’interféromètres et réalisé à partir de technologies des microsystèmes opto-electromécaniques (MOEMS). En particulier, les composants des interféromètres sont fabriqués par des techniques collectives et assemblés par intégration verticale multisubstrats. La matrice d’interféromètres est ensuite intégrée au sein d’un système d’illumination et d’imagerie pour constituer un dispositif de tomographie à cohérence optique (OCT) dédié à l’analyse des pathologies de la peau. Le système repose sur une architecture matricielle d’interféromètres de Mirau, permettant une approche pleinchamp multicanaux. Cela lui confère des caractéristiques adaptées à l’imagerie de la peau comme un grand champ de vue latéral.