Contour based metrology: “make measurable what is not so" - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2020

Contour based metrology: “make measurable what is not so"

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Fichier principal
Vignette du fichier
Paper SPIE2020_ Contour Based metrology_make measurable what is not_19022020_V1.pdf (1.09 Mo) Télécharger le fichier
Origine Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Patrick Schiavone  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-03093860

Soumis le : mercredi 6 janvier 2021-09:59:07

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:53:10

Archivage à long terme le : mercredi 7 avril 2021-18:58:03

Télécharger pour visualiser

Dates et versions

hal-03093860 , version 1 (06-01-2021)

Identifiants

Citer

Bertrand Le-Gratiet, Regis Bouyssou, Julien Ducote, Alain Ostrovsky, Charlotte Beylier, et al.. Contour based metrology: “make measurable what is not so". Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXIV, Feb 2020, San Jose, United States. pp.3, ⟨10.1117/12.2551907⟩. ⟨hal-03093860⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CEA UGA CNRS LTM MICRO-NANOTECHNOLOGIES-FOR-HEALTH CEA-DRF
114 Consultations
387 Téléchargements

Altmetric

Partager

More