Effect of Environment on Activation and Sorption of Getter Alloys and Multilayers for Hybrid Wafer-level Vacuum Packaging
Alain Bosseboeuf
(1, 2)
,
Sylvain Lemettre
(1)
,
Ming Wu
(1, 3)
,
Johan Moulin
(1)
,
Philippe Coste
(1)
,
Clément Bessouet
(1)
,
Sana Hammami
(1)
,
Charles Renard
(1)
,
Laetitia Vincent
(1)
Alain Bosseboeuf
- Fonction : Auteur
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Charles Renard
- Fonction : Auteur
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Laetitia Vincent
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