Fabrication of microlens arrays based on the mass transport effect of SU-8 photoresist using a multiexposure two-beam interference technique - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Applied optics Année : 2009

Fabrication of microlens arrays based on the mass transport effect of SU-8 photoresist using a multiexposure two-beam interference technique

Cheng Yi Wu
  • Fonction : Auteur
Ting Hsuan Chiang
  • Fonction : Auteur
Danh Bich Do
  • Fonction : Auteur
Chia Chen Hsu
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02955976 , version 1 (02-10-2020)

Identifiants

Citer

Cheng Yi Wu, Ting Hsuan Chiang, Ngoc Diep Lai, Danh Bich Do, Chia Chen Hsu. Fabrication of microlens arrays based on the mass transport effect of SU-8 photoresist using a multiexposure two-beam interference technique. Applied optics, 2009, 48 (13), pp.2473. ⟨10.1364/AO.48.002473⟩. ⟨hal-02955976⟩
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