Optimization of thickness and uniformity of photonic structures fabricated by interference lithography - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Applied physics. A, Materials science & processing Année : 2013

Optimization of thickness and uniformity of photonic structures fabricated by interference lithography

Thi Thanh Ngan Nguyen
  • Fonction : Auteur
Quang Liem Nguyen
  • Fonction : Auteur
Joseph Zyss
  • Fonction : Auteur
Isabelle Ledoux-Rak

Dates et versions

hal-02955960 , version 1 (02-10-2020)

Identifiants

Citer

Thi Thanh Ngan Nguyen, Quang Liem Nguyen, Joseph Zyss, Isabelle Ledoux-Rak, Ngoc Diep Lai. Optimization of thickness and uniformity of photonic structures fabricated by interference lithography. Applied physics. A, Materials science & processing, 2013, 111 (1), pp.297-302. ⟨10.1007/s00339-012-7537-7⟩. ⟨hal-02955960⟩
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