Article Dans Une Revue
Applied physics. A, Materials science & processing
Année : 2013
Ngoc Diep Lai : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02955960
Soumis le : vendredi 2 octobre 2020-12:06:37
Dernière modification le : lundi 12 février 2024-12:53:50
Citer
Thi Thanh Ngan Nguyen, Quang Liem Nguyen, Joseph Zyss, Isabelle Ledoux-Rak, Ngoc Diep Lai. Optimization of thickness and uniformity of photonic structures fabricated by interference lithography. Applied physics. A, Materials science & processing, 2013, 111 (1), pp.297-302. ⟨10.1007/s00339-012-7537-7⟩. ⟨hal-02955960⟩
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