‘Growth and structural characterization of cerium oxide thin films realized on Si(111) substrates by on-axis r.f. magnetron sputtering’ - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Thin Solid Films Année : 2008

‘Growth and structural characterization of cerium oxide thin films realized on Si(111) substrates by on-axis r.f. magnetron sputtering’

M.T. Ta
  • Fonction : Auteur
D. Briand
  • Fonction : Auteur
J. Bernard
  • Fonction : Auteur
J.C. Pesant
  • Fonction : Auteur
B. Boudart
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02936063 , version 1 (11-09-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02936063 , version 1

Citer

M.T. Ta, D. Briand, Y. Guhel, J. Bernard, J.C. Pesant, et al.. ‘Growth and structural characterization of cerium oxide thin films realized on Si(111) substrates by on-axis r.f. magnetron sputtering’. Thin Solid Films, 2008. ⟨hal-02936063⟩
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