Capacitively Coupled Radio-Frequency Plasmas Excited by Tailored Voltage Waveforms: Particle-In-Cell/Monte Carlo Simulations in 1 and 2 Dimensions - Archive ouverte HAL
Poster De Conférence Année : 2015

Capacitively Coupled Radio-Frequency Plasmas Excited by Tailored Voltage Waveforms: Particle-In-Cell/Monte Carlo Simulations in 1 and 2 Dimensions

Yue Liu
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02611334

Soumis le : lundi 18 mai 2020-12:47:34

Dernière modification le : jeudi 12 décembre 2024-03:44:05

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02611334 , version 1 (18-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02611334 , version 1

Citer

Yue Liu, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert. Capacitively Coupled Radio-Frequency Plasmas Excited by Tailored Voltage Waveforms: Particle-In-Cell/Monte Carlo Simulations in 1 and 2 Dimensions. Radiofrequency Plasma Workshop, Jun 2015, Dublin, Ireland. 2015. ⟨hal-02611334⟩

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