EXPERIMENTAL AND MODELING STUDIES OF LOW-PRESSURE CAPACITIVE OXYGEN PLASMAS EXCITED BY TAILORED VOLTAGE WAVEFORMS - Archive ouverte HAL
Poster De Conférence Année : 2015

EXPERIMENTAL AND MODELING STUDIES OF LOW-PRESSURE CAPACITIVE OXYGEN PLASMAS EXCITED BY TAILORED VOLTAGE WAVEFORMS

Aranka Derszi
  • Fonction : Auteur
Trevor Lafleur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Ihor Korolov
  • Fonction : Auteur
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Zoltan Donko
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02611332

Soumis le : lundi 18 mai 2020-12:47:06

Dernière modification le : jeudi 12 décembre 2024-03:44:05

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02611332 , version 1 (18-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02611332 , version 1

Citer

Aranka Derszi, Trevor Lafleur, Ihor Korolov, Jean-Paul Booth, Zoltan Donko. EXPERIMENTAL AND MODELING STUDIES OF LOW-PRESSURE CAPACITIVE OXYGEN PLASMAS EXCITED BY TAILORED VOLTAGE WAVEFORMS. Symposium on Application of Plasma Processes, Jan 2015, Tatranská Lomnica, Slovakia. 2015. ⟨hal-02611332⟩

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