Broadband absorption with UV Light-Emitting Diodes in a dual-frequency capacitively coupled reactor - Archive ouverte HAL
Poster De Conférence Année : 2009

Broadband absorption with UV Light-Emitting Diodes in a dual-frequency capacitively coupled reactor

Jérôme Bredin
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

LPP Référent-HAL  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02611283

Soumis le : lundi 18 mai 2020-12:36:39

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02611283 , version 1 (18-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02611283 , version 1

Citer

Jérôme Bredin, Jean-Paul Booth. Broadband absorption with UV Light-Emitting Diodes in a dual-frequency capacitively coupled reactor. Radiofrequency Plasma Workshop, May 2009, Presqu ile de Giens, France. 2009. ⟨hal-02611283⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

OBSPM X CNRS X-DEP-PHYS PSL UNIV-PARIS-SACLAY SORBONNE-UNIVERSITE SU-SCIENCES X-LPP LABORATOIRE-DE-PHYSIQUE-DES-PLASMAS-LPP LPP-PLASMAS-FROIDS GS-PHYSIQUE
26 Consultations
0 Téléchargements

Partager

More