Hybrid Model of Parallel Plate RF Discharges in H<SUB>2</SUB>: Effect of DC and Tailored Voltage Waveforms - Archive ouverte HAL
Poster De Conférence Année : 2012

Hybrid Model of Parallel Plate RF Discharges in H2: Effect of DC and Tailored Voltage Waveforms

P. Diomede
  • Fonction : Auteur
Pierre-Alexandre Delattre
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
E.V. Johnson
CV
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
S. Longo
  • Fonction : Auteur
D. J. Economou
  • Fonction : Auteur
M. Capitelli
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02611272

Soumis le : lundi 18 mai 2020-12:34:49

Dernière modification le : jeudi 12 décembre 2024-03:44:05

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02611272 , version 1 (18-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02611272 , version 1

Citer

P. Diomede, Pierre-Alexandre Delattre, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth, S. Longo, et al.. Hybrid Model of Parallel Plate RF Discharges in H2: Effect of DC and Tailored Voltage Waveforms. ESCAMPIG, Jul 2012, Viana do Costello, Portugal. 2012. ⟨hal-02611272⟩

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