Dual-frequency capacitive radiofrequency discharges : Effect of low-frequency power on electron density and flux - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Dual-frequency capacitive radiofrequency discharges : Effect of low-frequency power on electron density and flux

Jean-Paul Booth
G. Curley
  • Fonction : Auteur
Pascal Chabert
D. Maric
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02595163 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02595163 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, G. Curley, Pascal Chabert, D. Maric. Dual-frequency capacitive radiofrequency discharges : Effect of low-frequency power on electron density and flux. Gaseous Electronics Conference, Oct 2009, Saratoga Springs, New York, United States. ⟨hal-02595163⟩
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