Dual-frequency capacitive radiofrequency discharges : Effect of low-frequency power on electron density and flux - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Dual-frequency capacitive radiofrequency discharges : Effect of low-frequency power on electron density and flux

Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
G. Curley
  • Fonction : Auteur
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
D. Maric
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02595163

Soumis le : vendredi 15 mai 2020-19:43:22

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02595163 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02595163 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, G. Curley, Pascal Chabert, D. Maric. Dual-frequency capacitive radiofrequency discharges : Effect of low-frequency power on electron density and flux. Gaseous Electronics Conference, Oct 2009, Saratoga Springs, New York, United States. ⟨hal-02595163⟩

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