Chlorine atom and molecule dynamics in an inductively coupled plasma in pure Cl<SUB>2</SUB> - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Chlorine atom and molecule dynamics in an inductively coupled plasma in pure Cl2

Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Yasmina Azamoum
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Nishant Sirse
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02594730

Soumis le : vendredi 15 mai 2020-19:13:34

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02594730 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02594730 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, Pascal Chabert, Yasmina Azamoum, Nishant Sirse. Chlorine atom and molecule dynamics in an inductively coupled plasma in pure Cl2. Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), Mar 2012, Grenoble, France. ⟨hal-02594730⟩

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