Chlorine atom and molecule dynamics in an inductively coupled plasma in pure Cl<SUB>2</SUB> - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Chlorine atom and molecule dynamics in an inductively coupled plasma in pure Cl2

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02594730 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02594730 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, Pascal Chabert, Yasmina Azamoum, Nishant Sirse. Chlorine atom and molecule dynamics in an inductively coupled plasma in pure Cl2. Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), Mar 2012, Grenoble, France. ⟨hal-02594730⟩
8 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More