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Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Comparison of the effect of sawtooth-like voltage waveforms on discharge dynamics of Ar, H2, and CF4 plasmas

Bastien Bruneau
  • Fonction : Auteur
Erik Johnson
T. Gans
  • Fonction : Auteur
Arthur Greb
  • Fonction : Auteur
Ihor Korolov
  • Fonction : Auteur
Aranka Derszi
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Z. Donkó
  • Fonction : Auteur
S. Brandt
  • Fonction : Auteur
E. Schuengel
  • Fonction : Auteur
J. Schulze
  • Fonction : Auteur
D. J. Economou
  • Fonction : Auteur
P. Diomede
  • Fonction : Auteur
S. Longo
  • Fonction : Auteur
Trevor Lafleur
Jean-Paul Booth
D. O'Connell
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02593667 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02593667 , version 1

Citer

Bastien Bruneau, Erik Johnson, T. Gans, Arthur Greb, Ihor Korolov, et al.. Comparison of the effect of sawtooth-like voltage waveforms on discharge dynamics of Ar, H2, and CF4 plasmas. Gaseaous Electronics Conference, Oct 2015, Honolulu, United States. ⟨hal-02593667⟩
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