Comparison of the effect of sawtooth-like voltage waveforms on discharge dynamics of Ar, H<SUB>2</SUB>, and CF<SUB>4</SUB> plasmas - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Comparison of the effect of sawtooth-like voltage waveforms on discharge dynamics of Ar, H2, and CF4 plasmas

Bastien Bruneau
  • Fonction : Auteur
Erik Johnson
CV
T. Gans
  • Fonction : Auteur
Arthur Greb
  • Fonction : Auteur
Ihor Korolov
  • Fonction : Auteur
Aranka Derszi
  • Fonction : Auteur
Z. Donkó
  • Fonction : Auteur
S. Brandt
  • Fonction : Auteur
E. Schuengel
  • Fonction : Auteur
J. Schulze
  • Fonction : Auteur
D. J. Economou
  • Fonction : Auteur
P. Diomede
  • Fonction : Auteur
S. Longo
  • Fonction : Auteur
Trevor Lafleur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
D. O'Connell
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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Soumis le : vendredi 15 mai 2020-17:33:26

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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hal-02593667 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02593667 , version 1

Citer

Bastien Bruneau, Erik Johnson, T. Gans, Arthur Greb, Ihor Korolov, et al.. Comparison of the effect of sawtooth-like voltage waveforms on discharge dynamics of Ar, H2, and CF4 plasmas. Gaseaous Electronics Conference, Oct 2015, Honolulu, United States. ⟨hal-02593667⟩

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