Ion flux asymmetry obtained by sawtooth-like waveforms: A new degree of freedom in capacitively coupled plasmas - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Ion flux asymmetry obtained by sawtooth-like waveforms: A new degree of freedom in capacitively coupled plasmas

Bastien Bruneau
  • Fonction : Auteur
T. Gans
  • Fonction : Auteur
D. O'Connell
  • Fonction : Auteur
Arthur Greb
  • Fonction : Auteur
Trevor Lafleur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Erik Johnson
CV
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02593661

Soumis le : vendredi 15 mai 2020-17:33:21

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02593661 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02593661 , version 1

Citer

Bastien Bruneau, T. Gans, D. O'Connell, Arthur Greb, Trevor Lafleur, et al.. Ion flux asymmetry obtained by sawtooth-like waveforms: A new degree of freedom in capacitively coupled plasmas. Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), Apr 2015, Louvain, Belgium. ⟨hal-02593661⟩

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