Capacitively coupled CF<SUB>4</SUB> discharges excited by tailored waveforms: experiments and kinetic simulations - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Capacitively coupled CF4 discharges excited by tailored waveforms: experiments and kinetic simulations

Bastien Bruneau
  • Fonction : Auteur
Erik Johnson
Jean-Paul Booth
Trevor Lafleur
T. Gans
  • Fonction : Auteur
D. O'Connell
  • Fonction : Auteur
Arthur Greb
  • Fonction : Auteur
Ihor Korolov
  • Fonction : Auteur
Aranka Derszi
  • Fonction : Auteur
Z. Donkó
  • Fonction : Auteur
E. Schuengel
  • Fonction : Auteur
J. Schulze
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02573343 , version 1 (14-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02573343 , version 1

Citer

Bastien Bruneau, Erik Johnson, Jean-Paul Booth, Trevor Lafleur, T. Gans, et al.. Capacitively coupled CF4 discharges excited by tailored waveforms: experiments and kinetic simulations. Radiofrequency Plasma Workshop, Jun 2015, Dublin, Ireland. ⟨hal-02573343⟩
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