A model for the radiofrequency sheath with arbitrary waveforms - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

A model for the radiofrequency sheath with arbitrary waveforms

Pascal Chabert
Miles Turner
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02573322 , version 1 (14-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02573322 , version 1

Citer

Pascal Chabert, Miles Turner. A model for the radiofrequency sheath with arbitrary waveforms. International Conference on Plasma and Nanotechnology (ICPLANTS), Feb 2013, Gero, Japan. ⟨hal-02573322⟩
11 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More