Communication Dans Un Congrès
Année : 2012
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https://hal.science/hal-02573299
Soumis le : jeudi 14 mai 2020-12:08:12
Dernière modification le : samedi 7 octobre 2023-21:36:23
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02573299 , version 1
Citer
E.V. Johnson, S. Pouliquen, Pierre-Alexandre Delattre, Jean-Paul Booth. Plasma deposition processes excited using Tailored Voltage Waveforms: from microcrystalline silicon thin films to devices. AVS Symposium, Oct 2012, Tampa, Floride, United States. ⟨hal-02573299⟩
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