Mise au point d'un dépôt HMDS sur la plaque OBDUCAT QS V 200 BM - Archive ouverte HAL
Rapport (Rapport Technique) Année : 2018

Mise au point d'un dépôt HMDS sur la plaque OBDUCAT QS V 200 BM

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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Soumis le : mercredi 13 mai 2020-16:28:48

Dernière modification le : jeudi 5 septembre 2024-10:15:21

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Dates et versions

hal-02572420 , version 1 (13-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02572420 , version 1

Citer

Séverine Vivies, Adrian Laborde, Julien Joneau, Laurent Mazenq, Hugues Granier. Mise au point d'un dépôt HMDS sur la plaque OBDUCAT QS V 200 BM. [Rapport Technique] LAAS-CNRS. 2018. ⟨hal-02572420⟩

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