Microstructure and growth kinetics of nanocrystalline diamond films deposited in large area/low temperature distributed antenna array microwave-plasma reactor - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Physica Status Solidi A (applications and materials science) Année : 2015

Microstructure and growth kinetics of nanocrystalline diamond films deposited in large area/low temperature distributed antenna array microwave-plasma reactor

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics] Matériaux Génie des procédés

Jocelyn ACHARD  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02493651

Soumis le : vendredi 28 février 2020-08:25:56

Dernière modification le : jeudi 28 novembre 2024-10:50:30

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hal-02493651 , version 1 (28-02-2020)

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Citer

Benoit Baudrillart, Fabien Benedic, Ovidiu Brinza, Thomas Bieber, Thierry Chauveau, et al.. Microstructure and growth kinetics of nanocrystalline diamond films deposited in large area/low temperature distributed antenna array microwave-plasma reactor. Physica Status Solidi A (applications and materials science), 2015, 212 (11), pp.2611-2615. ⟨10.1002/pssa.201532276⟩. ⟨hal-02493651⟩

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