Article Dans Une Revue
European Physical Journal: Applied Physics
Année : 2018
Jocelyn ACHARD : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02492690
Soumis le : jeudi 27 février 2020-11:21:57
Dernière modification le : jeudi 28 novembre 2024-10:50:33
Citer
Fabien Benedic, Benoit Baudrillart, Jocelyn Achard. Modelling of low-temperature/large-area distributed antenna array microwave-plasma reactor used for nanocrystalline diamond deposition. European Physical Journal: Applied Physics, 2018, 81 (1), pp.10804. ⟨10.1051/epjap/2017170238⟩. ⟨hal-02492690⟩
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