Mechanical behavior of T-shaped A1N membrane based on thin film elongation acoustic resonator
Etienne Herth
- Fonction : Auteur
- PersonId : 763947
- ORCID : 0000-0002-8321-5060
- IdRef : 145592529
Gaelle Bazin Lissorgues
- Fonction : Auteur
- PersonId : 18822
- IdHAL : gaelle-lissorgues
- ORCID : 0000-0003-3371-8353
- IdRef : 085634492
Domaines
Electromagnétisme Matériaux Micro et nanotechnologies/Microélectronique Electronique BiomatériauxFormat du dépôt | Notice |
---|---|
Type de dépôt | Communication dans un congrès |
Titre |
en
Mechanical behavior of T-shaped A1N membrane based on thin film elongation acoustic resonator
|
Auteur(s) |
Etienne Herth
1
, Franck Lardet-Vieudrin
1
, Laurie Valbin
2
, Gaelle Bazin Lissorgues
2
1
FEMTO-ST -
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
( 866 )
- 32 avenue de l'Observatoire 25044 BESANCON CEDEX
- France
2
ESYCOM -
Electronique, Systèmes de communication et Microsystèmes
( 43154 )
- Université de Paris-Est - Marne-la-Vallée, Cité Descartes, Bâtiment Copernic, 5 bd Descartes, 77454 Marne-la-Vallée Cedex 2
- France
|
Langue du document |
Anglais
|
Vulgarisation |
Non
|
Comité de lecture |
Oui
|
Invité |
Non
|
Audience |
Internationale
|
Actes |
Non
|
Page/Identifiant |
1-4
|
Titre du congrès |
2016 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP)
|
Date début congrès |
2016-05-30
|
Date fin congrès |
2016-06-02
|
Ville |
Budapest
|
Pays |
Hongrie
|
Domaine(s) |
|
Éditeur commercial |
|
DOI | 10.1109/DTIP.2016.7514867 |
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