Communication Dans Un Congrès
Année : 2016
Gaelle Lissorgues : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02439747
Soumis le : mardi 14 janvier 2020-17:26:02
Dernière modification le : jeudi 13 avril 2023-09:26:12
Citer
Etienne Herth, Franck Lardet-Vieudrin, Laurie Valbin, Gaelle Bazin Lissorgues. Mechanical behavior of T-shaped A1N membrane based on thin film elongation acoustic resonator. 2016 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), May 2016, Budapest, Hungary. pp.1-4, ⟨10.1109/DTIP.2016.7514867⟩. ⟨hal-02439747⟩
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