Phase formation sequence and cobalt behavior in the Ni0.9 Co0.1 system during the thin film solid-state formation - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2018

Phase formation sequence and cobalt behavior in the Ni0.9 Co0.1 system during the thin film solid-state formation

Ph. Rodriguez
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
F. Deprat
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
C. Sésé
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
S. Zhiou
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
S. Favier
  • Fonction : Auteur
STMicroelectronics [Crolles]
C. Fenouillet-Beranger
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
T. Luo
  • Fonction : Auteur
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
D. Mangelinck
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
P. Gergaud
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
F. Nemouchi
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domaines

Matériaux

Dominique Mangelinck  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02403223

Soumis le : mardi 10 décembre 2019-18:03:46

Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02403223 , version 1 (10-12-2019)

Identifiants

Citer

Ph. Rodriguez, F. Deprat, C. Sésé, S. Zhiou, S. Favier, et al.. Phase formation sequence and cobalt behavior in the Ni0.9 Co0.1 system during the thin film solid-state formation. Microelectronic Engineering, 2018, 200, pp.19-25. ⟨10.1016/j.mee.2018.08.006⟩. ⟨hal-02403223⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CEA UNIV-TLN CNRS UNIV-AMU IM2NP DRT LETI CEA-GRE ANR
58 Consultations
0 Téléchargements

Altmetric

Partager

More