Article Dans Une Revue
Plasma Sources Science and Technology
Année : 2018
Erik Johnson : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02391062
Soumis le : mardi 3 décembre 2019-13:52:26
Dernière modification le : mardi 16 juillet 2024-15:14:04
Citer
G Fischer, K. Ouaras, E Drahi, B. Bruneau, E Johnson. Excitation of Ar, O 2 , and SF 6 /O 2 plasma discharges using tailored voltage waveforms: control of surface ion bombardment energy and determination of the dominant electron excitation mode. Plasma Sources Science and Technology, 2018, 27 (7), pp.074003. ⟨10.1088/1361-6595/aaca05⟩. ⟨hal-02391062⟩
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