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Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Hybrid kinetic/fluid modeling of silicon nanoparticles dynamics in silane plasma discharges

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02384092 , version 1 (28-11-2019)

Identifiants

Citer

J.-M. Orlac’h, V. Giovangigli, T. Novikova, P. Roca I Cabarrocas. Hybrid kinetic/fluid modeling of silicon nanoparticles dynamics in silane plasma discharges. 30TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON RAREFIED GAS DYNAMICS: RGD 30, Jul 2016, Victoria, Canada. pp.130004, ⟨10.1063/1.4967630⟩. ⟨hal-02384092⟩
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