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Communication Dans Un Congrès Année : 2002

Optique intégrée polymère à base de photoresist, deux voies possibles : photolithographie directe et photoinscription

Optique intégrée polymère à base de photoresist, deux voies possibles : photolithographie directe et photoinscription

T. Batte
  • Fonction : Auteur
F. Guezou
  • Fonction : Auteur
Dominique Bosc
  • Fonction : Auteur
Isabelle Hardy
Philippe Grosso
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 866051

Résumé

*
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02345640 , version 1 (04-11-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02345640 , version 1

Citer

T. Batte, F. Guezou, Dominique Bosc, Isabelle Hardy, Philippe Grosso. Optique intégrée polymère à base de photoresist, deux voies possibles : photolithographie directe et photoinscription. JNOG 2002 (21è Journées Nationales d'Optique Guidée - Dijon, France), Aug 2002, Dijon, Îles Féroé. pp.164 - 166. ⟨hal-02345640⟩
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