MEMS probes for on-wafer RF microwave characterization of future microelectronics: design, fabrication and characterization
Jaouad Marzouk
(1, 2)
,
S. Arscott
(2, 3)
,
Abdelhatif El Fellahi
(2)
,
Kamel Haddadi
(2)
,
Tuami Lasri
(2)
,
Christophe Boyaval
(2)
,
Gilles Dambrine
(2)
Jaouad Marzouk
- Fonction : Auteur
- PersonId : 919509
S. Arscott
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739879
- IdHAL : stevearscott
- ORCID : 0000-0001-9938-2683
- IdRef : 144910691
Abdelhatif El Fellahi
- Fonction : Auteur
- PersonId : 989081
Kamel Haddadi
- Fonction : Auteur
- PersonId : 745983
- IdHAL : kamel-haddadi
- ORCID : 0000-0002-4857-5220
- IdRef : 124600530
Tuami Lasri
- Fonction : Auteur
- PersonId : 751883
- IdHAL : tuami-lasri
Christophe Boyaval
- Fonction : Auteur
- PersonId : 747971
- IdHAL : christophe-boyaval
Gilles Dambrine
- Fonction : Auteur
- PersonId : 748125
- IdHAL : gilles-dambrine