MEMS probes for on-wafer RF microwave characterization of future microelectronics: design, fabrication and characterization - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal of Micromechanics and Microengineering Année : 2015

MEMS probes for on-wafer RF microwave characterization of future microelectronics: design, fabrication and characterization

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

Stephen Arscott  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02345571

Soumis le : lundi 4 novembre 2019-15:36:08

Dernière modification le : jeudi 25 janvier 2024-03:38:35

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Dates et versions

hal-02345571 , version 1 (04-11-2019)

Identifiants

Citer

Jaouad Marzouk, S. Arscott, Abdelhatif El Fellahi, Kamel Haddadi, Tuami Lasri, et al.. MEMS probes for on-wafer RF microwave characterization of future microelectronics: design, fabrication and characterization. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2015, 25 (7), pp.075024. ⟨10.1088/0960-1317/25/7/075024⟩. ⟨hal-02345571⟩

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