Optimization of a microelectromechanical systems (MEMS) approach for miniaturized microcantilever-based RF microwave probes - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Sensors and Actuators A: Physical Année : 2016

Optimization of a microelectromechanical systems (MEMS) approach for miniaturized microcantilever-based RF microwave probes

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

Stephen Arscott  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02345465

Soumis le : lundi 4 novembre 2019-15:14:17

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

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Dates et versions

hal-02345465 , version 1 (04-11-2019)

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Citer

Jaouad Marzouk, S. Arscott, Abdelhatif El Fellahi, Kamel Haddadi, Christophe Boyaval, et al.. Optimization of a microelectromechanical systems (MEMS) approach for miniaturized microcantilever-based RF microwave probes. Sensors and Actuators A: Physical , 2016, 238, pp.51-59. ⟨10.1016/j.sna.2015.10.043⟩. ⟨hal-02345465⟩

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