Diagnostics of plasma neutral species in a very high frequency oxygen plasma with high sensitivity broadband absorption spectroscopy - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2018

Diagnostics of plasma neutral species in a very high frequency oxygen plasma with high sensitivity broadband absorption spectroscopy

J. Zhao
Peter L G Ventzek
  • Fonction : Auteur
Barton Lane
  • Fonction : Auteur
Toshihiko Iwao
  • Fonction : Auteur
Kiyotaka Ishibashi
  • Fonction : Auteur
Jean-Paul Booth
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02342227 , version 1 (31-10-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02342227 , version 1

Citer

J. Zhao, Peter L G Ventzek, Barton Lane, Toshihiko Iwao, Kiyotaka Ishibashi, et al.. Diagnostics of plasma neutral species in a very high frequency oxygen plasma with high sensitivity broadband absorption spectroscopy. AVS Symposium, Oct 2018, Long Beach, California, United States. ⟨hal-02342227⟩
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