Prospects for dielectric constant reduction in integrated circuits interconnects - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2014
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02338418 , version 1 (30-10-2019)

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Citer

Maxime Darnon, Nicolas Posseme, Thierry Chevolleau, Thibaut David. Prospects for dielectric constant reduction in integrated circuits interconnects. Materials Research Society Spring Meeting, Jun 2014, San Francisco, United States. pp.Mrss14-1692-cc01-01, ⟨10.1557/opl.2014.609⟩. ⟨hal-02338418⟩
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