Challenges related to linewidth roughness - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Challenges related to linewidth roughness

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02338405 , version 1 (30-10-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02338405 , version 1

Citer

Erwine Pargon, Laurent Azarnouch, Kevin Menguelti, Marc Fouchier, Melisa Brihoum, et al.. Challenges related to linewidth roughness. China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC), Mar 2012, Shanghai, China. ⟨hal-02338405⟩
28 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More