Optical and Electrical Diagnostics of Pulsed Plasmas Etching Processes
Gilles Cunge
(1)
,
Maxime Darnon
(1)
,
Camille Petit-Etienne
(1)
,
Paulin Brichon
(1)
,
Romuald Blanc
(1)
,
Melisa Brihoum
(1)
,
Emilie Despiau-Pujo
(1)
,
Alexandra Davydova
(1)
,
Moritz Haass
(1)
,
Erwine Pargon
(1)
,
Olivier Joubert
(1)
,
Nader Sadeghi
(1)
,
Nicholas St J Braithwaite
,
David Gahan
(2)
,
Samer Banna
(3)
Gilles Cunge
- Fonction : Auteur
- PersonId : 849083
Maxime Darnon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17906
- IdHAL : maxime-darnon
- ORCID : 0000-0002-6188-7157
- IdRef : 124051758
Camille Petit-Etienne
- Fonction : Auteur
- PersonId : 745766
- IdHAL : camille-petit-etienne
Emilie Despiau-Pujo
- Fonction : Auteur
- PersonId : 754756
- IdHAL : emilie-despiau-pujo
- ORCID : 0000-0002-7761-6343
- IdRef : 142894265
Erwine Pargon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 180469
- IdHAL : erwine-pargon
- ORCID : 0000-0002-6337-9180
Nicholas St J Braithwaite
- Fonction : Auteur