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Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Optical and Electrical Diagnostics of Pulsed Plasmas Etching Processes

Nicholas St J Braithwaite
  • Fonction : Auteur
David Gahan
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02338133 , version 1 (29-10-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02338133 , version 1

Citer

Gilles Cunge, Maxime Darnon, Camille Petit-Etienne, Paulin Brichon, Romuald Blanc, et al.. Optical and Electrical Diagnostics of Pulsed Plasmas Etching Processes. 11th Technological Plasma Workshop, Dec 2013, York, United Kingdom. ⟨hal-02338133⟩

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