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Article Dans Une Revue Ultramicroscopy Année : 2019

Current driven magnetic actuation of a MEMS silicon beam in a transmission electron microscope

Takaaki Sato
  • Fonction : Auteur
Saeko Tachikawa

Domaines

Electronique
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02335205 , version 1 (28-10-2019)

Identifiants

Citer

Nicolas Lobato-Dauzier, Matthieu Denoual, Takaaki Sato, Saeko Tachikawa, Laurent Jalabert, et al.. Current driven magnetic actuation of a MEMS silicon beam in a transmission electron microscope. Ultramicroscopy, 2019, 197, pp.100-104. ⟨10.1016/j.ultramic.2018.12.002⟩. ⟨hal-02335205⟩
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