Communication Dans Un Congrès
Année : 2019
UMI3463 LN2 : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02327642
Soumis le : mardi 22 octobre 2019-21:37:12
Dernière modification le : mardi 30 juillet 2024-18:35:46
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02327642 , version 1
Citer
J.J. Dubowski, M.R. Aziziyan, H. Sharma, S. Aithal. Photo-Atomic Layer Etching of GaAs/AlGaAs Nanoheterostructures. Canadian Semiconductor Science and Technology Conference CSSTC, Jul 2019, Saskatoon, Canada. pp.17968-17978. ⟨hal-02327642⟩
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