Communication Dans Un Congrès
Année : 2019
UMI3463 LN2 : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02327636
Soumis le : mardi 22 octobre 2019-21:28:20
Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-11:48:02
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02327636 , version 1
Citer
Jan J. Dubowski. Photo-Atomic-Layer-Etching: an innovative tool for diagnostics and nanostructuring of quantum semiconductor microstructures. Ultrafast Phenomena and Nanophotonics XXIII Conference, SPIE Photonics West, Feb 2019, San Francisco, United States. ⟨hal-02327636⟩
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