Doping profile extraction in thin SOI films: Application to A2RAM - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Solid-State Electronics Année : 2019

Doping profile extraction in thin SOI films: Application to A2RAM

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hal-02321935 , version 1 (25-10-2021)

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F. Tcheme Wakam, J. Lacord, M. Bawedin, S. Martinie, S. Cristoloveanu, et al.. Doping profile extraction in thin SOI films: Application to A2RAM. Solid-State Electronics, 2019, 159, pp.3-11. ⟨10.1016/j.sse.2019.03.038⟩. ⟨hal-02321935⟩
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