Bulk micromachined Titanium MEMS
Gwenaël Bécan
(1, 2)
,
Baptiste Rousset
(1)
,
Samson Edmond
(1)
,
Nathalie Isac
(1)
,
Maïté Do Vale
(1)
,
Philippe Coste
(1)
,
Elie Lefeuvre
(1)
,
Marion Woytasik
(1)
,
Edouard Laudrel
(2)
,
Bertrand Boutaud
(2)
,
Hadrien Philippe
(2)
,
Thomas Tillocher
(3)
,
Remi Dussart
(3)
,
Michel Robert
(4)
,
Fabrice Michel
(4)
Elie Lefeuvre
- Fonction : Auteur
- PersonId : 939707
- IdHAL : elie-lefeuvre
- ORCID : 0000-0002-2482-240X
- IdRef : 059617926
Edouard Laudrel
- Fonction : Auteur
- PersonId : 9470
- IdHAL : edouard-laudrel
- ORCID : 0000-0002-5181-3365
- IdRef : 231103697
Thomas Tillocher
- Fonction : Auteur
- PersonId : 7479
- IdHAL : thomas-tillocher
- ORCID : 0000-0002-9160-5595
- IdRef : 120339072
Remi Dussart
- Fonction : Auteur
- PersonId : 4419
- IdHAL : remi-dussart