Bulk micromachined Titanium MEMS - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2018

Bulk micromachined Titanium MEMS

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02306373 , version 1 (05-10-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02306373 , version 1

Citer

Gwenaël Bécan, Baptiste Rousset, Samson Edmond, Nathalie Isac, Maïté Do Vale, et al.. Bulk micromachined Titanium MEMS. 16th NAMIS Workshop (NAMIS 2018), Jun 2018, Oulu, Finland. ⟨hal-02306373⟩
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