Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2008
Madeleine ROUX-MERLIN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02281762
Soumis le : lundi 9 septembre 2019-14:50:14
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:50:00
Citer
Julien Vieillard, Radoslaw Mazurczyk, Lynda-Lawrence Boum, Aude Bouchard, Yann Chevolot, et al.. Integrated microfluidic–microoptical systems fabricated by dry etching of soda-lime glass. Microelectronic Engineering, 2008, 85 (2), pp.465-469. ⟨10.1016/j.mee.2007.08.005⟩. ⟨hal-02281762⟩
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