Achieving High Quality Factor Without Vacuum Packaging by High Density Proof Mass Integration in Vibration Energy Harvesters - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal of Microelectromechanical Systems Année : 2019

Achieving High Quality Factor Without Vacuum Packaging by High Density Proof Mass Integration in Vibration Energy Harvesters

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

UMI3463 LN2  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02273397

Soumis le : mercredi 28 août 2019-21:44:09

Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-11:48:02

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02273397 , version 1 (28-08-2019)

Identifiants

Citer

Andre Dompierre, Srikar Vengallatore, Luc Frechette. Achieving High Quality Factor Without Vacuum Packaging by High Density Proof Mass Integration in Vibration Energy Harvesters. Journal of Microelectromechanical Systems, 2019, 28 (3), pp.558-568. ⟨10.1109/JMEMS.2019.2910228⟩. ⟨hal-02273397⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

UGA CNRS INSA-LYON EC-LYON LN2 INSA-GROUPE UDL LN2-NRJ
12 Consultations
0 Téléchargements

Altmetric

Partager

More