Enhanced oxidation of TiAlN barriers integrated in three-dimensional ferroelectric capacitor structures - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Applied Physics Année : 2007

Enhanced oxidation of TiAlN barriers integrated in three-dimensional ferroelectric capacitor structures

J. Lisoni
  • Fonction : Auteur
J. Johnson
  • Fonction : Auteur
L. Goux
  • Fonction : Auteur
V. Paraschiv
  • Fonction : Auteur
D. Maes
  • Fonction : Auteur
H. van Der Meeren
  • Fonction : Auteur
M. Willegems
  • Fonction : Auteur
L. Haspeslagh
  • Fonction : Auteur
J. Wouters
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02271998 , version 1 (27-08-2019)

Identifiants

Citer

J. Lisoni, J. Johnson, L. Goux, V. Paraschiv, D. Maes, et al.. Enhanced oxidation of TiAlN barriers integrated in three-dimensional ferroelectric capacitor structures. Journal of Applied Physics, 2007, 101 (1), pp.014908. ⟨10.1063/1.2405011⟩. ⟨hal-02271998⟩
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